近日，来自中国电科所属公司的研究人员成功实现了点阵激光光刻技术的突破，将点阵激光与微电子制造相结合，实现了高精度芯片制造的新突破，填补了国内该领域技术的空白。
点阵激光在光刻领域的应用，具有形成高精度和独特的微结构的优点，是一个高精密度加工的重要工具。随着芯片工艺的不断提高，对微结构的制造精度和一致性的要求越来越高。而点阵激光在成像过程中的固有优势，可有效提高芯片的制造精度和产品质量，成为了芯片制造领域必不可少的关键技术。
由于点阵激光技术的先进性和专业性，所以一直以来属于技术瓶颈区域，缺乏市场研发投入和相关研究经费。然而，随着社会对微纳技术的普及和需求，点阵激光技术逐渐得到重视和推广。据了解，目前点阵激光技术已发展成为一种稳定可靠、易操作的技术，并应用到微电子、显示器、显示、生物芯片、MEMS器件等领域。
